2013年2月13日水曜日

局所性質原理


●発明原理3 ‐ 局所性質

物質の均質な構成や環境/外的影響を不均質なものに変える
物体の各部が動作に最適な条件のもとで動くようにする
物体の各部がそれぞれ異なる有益機能を果たすようにする

: 不均一な巻き方で均一に加熱

問題: 赤外線ランプを用いて半導体ウェーハを均一に加熱しようとしても端部のほうが先に冷えてしまい、中央部が高温になってしまう

発明原理の適用: 赤外線ランプの発熱体を端部で密に巻くようにすると中央部よりも多量の熱が発生するので半導体ウェーハの表面温度を均一にできます
発熱体を不均一に巻いて半導体ウェーハの端部における熱損失を補う(右図)


出典: TRIZ Technology for Innovation ( http://www.trizsolution.com )

0 件のコメント:

コメントを投稿