●発明原理7 ‐ 入れ子
●物体を別の物体の中に入れたり、それを更に別の物体の中に入れたりする
●あるものが他のものの中を通るようにする
例: トレンチ型コンデンサ電極の形成
問題: シリコンウェーハのコンデンサを大きくせずに電気容量を増やしたい
発明原理の適用: 導電層と誘電体層を交互に入れ子型にはめ込んで導電層間を電気的に接続した超小型電子コンデンサにすれば、全電気容量は増え、比較的小型に抑えられます。
コンデンサを複層化することにより、大型化することなく電気容量を増大
出典： TRIZ Technology for Innovation ( http://www.trizsolution.com )
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