2012年12月26日水曜日

汎用性原理


●発明原理6 ‐ 汎用性
部品や物体に複数の機能を持たせる
    ●他の部品の必要性を無くす

:  半導体ウェーハの冷却

問題:  特殊なウェーハ冷却器を使用すると装置が複雑になってしまう

発明原理の適用
:  気流を利用してウェーハを冷却します。反応物などの気流がウェーハの裏側を通って冷却してくれます
 右図では気流がウェーハの冷却もしてくれるので冷却用の水が要らなくなる


出典: TRIZ Technology for Innovation ( http://www.trizsolution.com/ )

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