つり合い原理

●発明原理8 ‐ つり合い

●物体の重さを相殺するために、揚力を生じる物体と組み合わせる

●物体の重さを相殺するために、空気力、流体力、浮力、その他の力など、周りの環境と作用させる

例:  ウェーハの音響浮揚

問題:　高温処理中、装置底面に接触するとウェーハの品質が低下してしまう

発明原理の適用:　音響場を用いてウェーハを浮揚させることにより、装置底面との接触を防ぐことができます。強力な圧電変換器（ホーン）で発生させた音波が装置底部の穴を通り、ウェーハを持ち上げます。

音波がウェーハを持ち上げて装置底面との接触を防止

出典： TRIZ Technology for Innovation ( http://www.trizsolution.com/ )