グロー放電(英語:Electric glow discharge)は低圧の気体中の持続的な放電現象である。電極間空間への荷電粒子供給が、正イオンの負極への衝突の際に起こる二次電子放出(γ作用)と負極・正極間を移動する電子による気体分子の電離(α作用)によるものである。電流が増加するとアーク放電に遷移する。放電管に封入されたガスの種類によって、いろいろな色に発光する。
放電の構造は気体の種類、圧力、放電管の形状などにより変化する。陰極側から並べて、陰極降下部(アストン暗部、陰極グロー(陰極層)、クルックス暗部(陰極暗部)からなる。陰極グローが複数層認められる場合もある)、負グロー、ファラデー暗部、陽光柱、陽極グロー、陽極暗部などの構造が認められる。
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%B0%E3%83%AD%E3%83%BC%E6%94%BE%E9%9B%BB#.E3.82.B0.E3.83.AD.E3.83.BC.E6.94.BE.E9.9B.BB
http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/
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● 活用例(スパッタリングによる金属棒の金属薄膜被覆)
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