発明原理40 ‐ 複合材料
- 均一材料を複合材料に置き換える
例: ガリウムヒ素（GaAs）素子用の多層金属シリコンゲート
問題: 高融点金属シリサイドは電界効果トランジスタ、ゲート電極、配線などとして利用されるが、ガリウムヒ素（GaAs）との密着性が低い
発明原理の適用: 均質なシリサイドのかわりにシリコンと金属の超薄膜（厚さ10ナノメートル未満）を交互に積層した複合材料を用います。ガリウムヒ素（GaAs）にはシリコン層が接するようにして密着性を高くします。このような複合材料は、均質なシリサイドと同じ電気特性を持ちます。
シリコンのほうがシリサイドよりもガリウムヒ素（GaAs）との密着性が高い
出典： TRIZ Technology for Innovation ( http://www.trizsolution.com )
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